Я с ультразвуковыми фазовыми виброметрами (судя по маркировке УФ) дело не имел, но физические принципы одинаковы для всех.
Имеется ультразвуковой кварцованный излучатель, типа как у приборов УЗД и медицинских УЗИ, только хорошо согласованные для работы с воздухом. И приёмник работающий на той же частоте что и излучатель. Что то из них закреплено на точке измерения вибрации. Так как к частоте и фазе излучателя УЗ добавляется частота и фаза колеблющегося (вибрирующего) объекта, на котором закреплён приемник (или уизлучатель), то по разности опорной (излучённой) и измеренной фаз получают картину вибрации объекта.
Бывают приборы работающие про принципу доплеровского смещения (изменения частоты излученного и принятого сигнала).
Иногда датчик и приёмник крепятся вне объекта измерения и работают на отражённом сигнале, в таком случае точность измерений резко увеличивается, т.к. не искажаются весом и инерцией датчика (приёмника), но резко уменьшается расстояния до объекта измерения, насколько помню, речь идёт о нескольких миллиметрах максимум сантиметрах.
Метод довольно точный, но очень неудобный в повседневном использовании, плюс капризен к температурам, поэтому используют в основном в науке и спец измерениях.